스핀코터(Spincoater)
마스크얼라이너(Mask
Aligner) |
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| TRANSFERS & SORTERS WAFER ALIGNERS VACUUM WANDS WAFER PICKS METAL CASSETTES MASK PICKS OPENERS PRESENTERS TRANSPORT BAGS MOCK WAFERS |
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Vacuum Wands |
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Sorters
SafeGuard Thin/Compound
Automatic Slide Transfer
Manual Slide Transfer |
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WHS-v7-1
Tabletop Portable Vacuum Wand
탁상용 휴대용 베큠 완드
Wafer Size:4"~8",12",small device
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WHS-V7은 고급 탁상용 휴대용 배터리 구동 진공봉으로 진공 라인으로부터 독립성을 제공합니다.
클린룸 어디든 이동할 수 있는 이동성을 제공합니다.
강력한 진공 펌프, 고성능 배터리 및 자동 차단 홀더를 통해 이 시스템을 한 번 충전으로 며칠 동안 대량 생산 환경에서 사용할 수 있습니다.
WHS-V2-LG 봉, WHS-V3-CC 코일코드, 진공 팁 선택 및 필요한 경우 소형 장치 어댑터와 함께 배송됩니다.
웨이퍼 회수 또는 대량 생산용으로 설계된 800mBar(23.6”Hg). ISO 3, FS209E 클래스 1.
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Automatic Notch Aligner
Automatic-flat-aligner
Manual-notch-aligner
Manual-flat-aligner |
독립형 800mbar(23.6" Hg 기압) 진공
ESD 안전 정전기 방지 구조with ground path
고급 HEPA 필터 0,3μm 입자의 99,99%
Auto-on pickup feature
One unit for all wafer sizes
연속 사용 시간 20시간 |
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Portable Wand
Vacuum Wand Set
Vacuum tips
Vacuum Handles |
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Wafer 3-point mechanical gripper
Wafer Edge Pick |
일반 용도: 베큠완드는 웨이퍼를 한 위치에서 다른 위치로 픽업하고 운반하는 데 사용됩니다(without adding particles). |
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Aluminum Process Cassettes
Aluminum Box Cassettes
Stainless Steel Process Cassettes
Process Cassettes 300mm |
분류: 수동 웨이퍼 분류 애플리케이션의 경우 베큠완드를 사용하면 작업자가 상위 로트 내에서 웨이퍼를 안전하고 정확하게 이동할 수 있습니다. 또한 필요에 따라 로트를 결합하고, 테스트 웨이퍼를 추가하고, 손상된 웨이퍼를 교체하는 데에도 사용할 수 있습니다. |
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Mask Pick - Side Grip
Mask Pick - Horizontal Grip |
검사 - 작업자는 베큠완드를 사용하여 상위 로트에서 웨이퍼를 꺼내고 특수 조명 아래에서 검사하여 결함을 찾을 수 있습니다. 이를 통해 프로세스가 성공적으로 이루어졌고 웨이퍼가 필수 사양을 충족하는지 확인됩니다. |
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Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150
Manual FOUP Opener, 300 mm |
Rescue :베큠완드는 자동화 성능이 저하될 때 카세트, 포드 및 프로세스 도구에서 꼬인물질(stranded substrates)을 제거하는 데 사용할 수 있습니다. |
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Automatic Wafer Presenter
Manual Five-Wafer Lift Presenter
Manual Single Wafer Presenter
21-manual-wafer-escalators |
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경기도
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