WHS-T4 씨리즈
2-Cassette Automation Sorter with OCR
2카세트 자동소터
Size:4" 6" 8",Dual size:6"+8"
ID를 기반으로 웨이퍼 정렬 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다.
개별 웨이퍼 믹스 분할, 병합, 정렬, 압축 또는 생성
시장에서 가장 작은 설치 면적
-Type:Automatic
-25 slot
Reader: Cognex or IOSS; OCR, Barcode, Data Matrix
Throughput: 700 wphFacilities: 20-240VAC;
VacuumCommunication: SECS GEM or Text Data Output
Certification: CE
Wafer Handling System의 WHS-T4 모델은 ID를 기반으로 웨이퍼 정렬 프로세스를 간소화하도록 특별히 설계된 최첨단 솔루션입니다.
이 시스템을 사용하면 사용자는 요구 사항에 따라 개별 웨이퍼 믹스를 분할, 병합, 정렬, 압축 또는 생성하여
웨이퍼 로트를 손쉽게 맞춤 설정할 수 있습니다.
이 시스템은 두 개의 인체공학적 틸트 스테이지 로드 포트,선형 로봇, 광학 웨이퍼 노치/평면 정렬 장치 및 ID 판독기를 갖추고 있습니다.
하드웨어 수정 없이 100mm(4인치), 150mm(6인치), 200mm(8인치) 웨이퍼의 전용 크기 처리 기능
또는 150mm 및 200mm용 조합 시스템 기능을 갖추고 있습니다.
WHS-T4의 주요 특징 중 하나는 871mm x 1700mm x 373mm(L x H x W) 크기로 시장에서 가장 작은 설치 공간을 차지하는
컴팩트한 디자인입니다.
이 시스템은 두께 범위가 220μ - 1000μ인 실리콘, 유리 또는 복합 웨이퍼와 호환됩니다.
이 시스템은 12, 13, 26슬롯 카세트 옵션이 있는 자동 25슬롯 카세트 분류기입니다.
또한 이 시스템에는 50개의 웨이퍼 크기 로트를 분류할 수 있는 내부 웨이퍼 버퍼 스테이지 옵션도 있습니다.
WHS-T4는 정전기 방전으로 인한 웨이퍼 손상을 방지하는 ESD 안전 기술을 갖추고 있습니다.
WHS-T4 모델은 또한 시간당 최대 700개의 웨이퍼라는 놀라운 처리량을 자랑하며 대량의 웨이퍼 소팅을 위한
효율적이고 안정적인 솔루션입니다.
사용되는 장비 입니다.
웨이퍼 분류기는 기계를 통과하는 각 웨이퍼를 스캔하고 직경, 두께 등 다양한 매개변수를 측정하여 작동합니다.
측정 결과에 따라 웨이퍼 분류기는 웨이퍼를 "양호" 또는 "불합격"과 같은 다양한 범주로 분류합니다.
그런 다음 양호한 웨이퍼는 추가 처리에 사용되고 불량 웨이퍼는 추가 검사 또는 재작업을 위해 따로 보관됩니다.
웨이퍼 분류기는 일반적으로 웨이퍼 제조 시설에서 웨이퍼 제조 공정의 효율성과 수율을 향상시키는 데 사용됩니다.
웨이퍼 분류기는 웨이퍼를 여러 범주로 분류함으로써 장비, 인력 등 자원을 효율적으로 활용하고 필요한 스크랩이나 재작업 양을 최소화합니다.
웨이퍼 분류기는 필수 사양을 충족하지 않는 웨이퍼를 식별하고 제거하는 데 도움이 되므로
최종 마이크로 전자 장치의 품질과 일관성을 보장하는 데에도 필수적입니다.
이는 장치 고장 위험을 최소화하고 웨이퍼 제조 공정의 전반적인 수율을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
품명 |
스펙 |
납 기 |
WHS-T4-401 |
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 100mm | 14-16 weeks |
WHS-T4-601 |
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 150mm | 14-16 weeks |
WHS-T4-701 |
2-Cassette Automated Sorter with OCR, Dual Size 150mm and 200mm | 14-16 weeks |
WHS-T4-801 |
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 200mm | 14-16 weeks |
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